Mea Taua o le Oloa: Fa'avevela Laser mo le Semiconductor Wafer Annealing

O le fa'a'a'a'a'a o le wafer o se faiga taua tele i le gaosiga o semiconductor, e aofia ai le fa'agaoioiga o le dopant, le toe fa'aleleia o le lattice, ma le fausiaina o le ultra-shallow junction (USJ). O le fa'a'a'a'a'a o le ogaumu masani ma le fa'agasologa vave o le vevela (RTP) e mafatia i le maualuga o le paketi o le vevela, le le pulea lelei o le fa'asalalauina o le dopant, ma le le lava o le tutusa, ma e le lava ai mo nodes tekonolosi fa'aonaponei i le 7 nm, 5 nm, ma tua atu—aemaise lava mo fausaga o le Gate-All-Around (GAA) ma le 3D NAND flash memory. O le fa'a'a'a'a'a'a o le wafer e fa'avae i le laser, fa'atasi ai ma lona fa'avevela maualuga, le sa'o o le micron-scale spatial, ma le la'ititi o le fa'asalalauina o le vevela, ua tula'i mai o le faiga autu o le isi tupulaga mo le fa'ataunu'uina o nei mana'oga faigata o le gaosiga.

Mataupu Faavae Autū o le Fa'avevela o le Laser

O le ulu fa'avevela laser o le Wave Optics o lo'o i ai se mamanu fa'apitoa e tu'uina atu ai ave laser e maualuga le malosi, e tutusa lelei le vevela mo le fa'amalamalamaina sa'o o luga o le wafer. O le laser lanumeamata e ofoina atu le fetaui lelei o le mitiia ma mea e fa'avae i le silicon (e aofia ai le SiC), e mafai ai ona togafitia lelei le vevela e aunoa ma le fa'aleagaina o le wafer. O lenei mea e fa'afaigofie ai le toe fa'afouina o le vaega ua fa'aleagaina i le ion ma le fa'agaoioiga lelei o le dopant. Mulimuli ane, o le maualuga o le conductivity o le vevela o le substrate e mafai ai ona fa'amālūlūina vave tele, lea e fa'a'aisa ai le fausaga o le lattice ma taofia ai le fa'asalalauina o le dopant. O lenei faiga e manuia ai le gaosia o ni feso'ota'iga papa'u tele ma le maualuga o le fa'agaoioiga lelei ma se fa'asologa o feso'ota'iga ma'ai (fa'afuase'i).

E Taua Tele le Fa'avevela o le Laser mo le Fa'aleleia o le Gaosiga o le Wafer

1. Tutusa o le Ave: O le tutusa o le malosi o le vaega e mafolafola le pito i luga o le ave e sili atu i le 95% (masani), e aveese ai le so'ona liusuavai pe le fa'apuna i le lotoifale.
2. Mausali o le Malosiaga: O le fesuisuia'i faifai pea o le malosi o le gaosiga e i lalo ifo o le 2%, ma mautinoa ai le tutusa lelei o le gaosiga mai le tasi vaega i le isi vaega.
3. Sa'o Lelei o le Ata o le Luga: O vaega opitika e iai tau PV/RMS i le fua o le nanometa ma le fa'aletonu o le wavefront e pulea lelei, e puipuia ai le fa'aleagaina o le vevela.
4. Loloto o le Taula'i ma le Fa'atulagaina o le Ave: O le loloto o le taula'i e mafai ona fetu'una'i fa'atasi ai ma le fa'afefiloi o le ave e lagolagoina ai le su'esu'eina atoa o le fanua o wafers tetele.
5. Fa'afetauiina o le Umi o Galu: Fa'alelei mo galu e maualuga le mitiia o le silicon ma semiconductors o le tupulaga lona tolu (e pei o le SiC, GaN) e fa'ateleina ai le lelei o le fa'aaogaina o le malosi.

Tolu Fa'amanuiaga Autu i luga o le Fa'asusu Masani

1. Taofiofia lelei o le sosolo o le dopant - O le fa'aalia i le vevela e fa'atapula'aina i le va o le nanosecond i le millisecond ma le sosolo o le dopant e lata i le zero, o se gafatia e le mafai ona ausia e ala i le fa'amafanafanaina i le ogaumu po'o le RTP.

2. Tupe fa'aalu maualalo i le vevela ma le fa'aleagaina la'ititi o le masini - E na'o le fogā'ele'ele o le wafer e o'o i ai le vevela maualuga mo sina taimi, ma e leai se fa'aleagaina fa'avevela o le substrate po'o le fausaga o le masini ma e leai se fa'aleagaina o le va o le masini.

3. Fa'asusuina o le vaega filifilia sa'o - O vaega e mafai ona fetu'una'i i le micron-scale beam spots e lagolagoina ai le fa'asusuina o le lotoifale mo le tu'ufa'atasia o le 3D ma masini tu'ufa'atasia eseese.

Tulaga o Talosaga

O fa'aoga e aofia ai le fa'agaoioiga o le puna/fa'amamago, toe fa'aleleia o alavai, ma le fa'amafanafana o le feso'ota'iga o le ohmic mo le fa'amalamalamaga fa'apitoa (GAA/CFET), DRAM/3D NAND, masini eletise SiC/GaN, SOI, ma masini micro/nano. O le fa'amafanafana laser e tu'uina atu ai fa'aleleiga i le taimi e tasi i le fua ma le fa'atinoga o masini.

O le fa'avevela o le laser e suia ai le fa'agasologa o le wafer mai le fa'avevela lautele (blanket) i le fa'avevela sa'o i le lotoifale. O lana tekinolosi fa'a-opitika malosi e lagolagoina ai le fa'aauau pea o le fa'ateleina ma le alualu i luma o le fa'atinoga o node semiconductor fa'aonaponei.

Pepa Fa'amatalaga o le Oloa