O le siakiina o le mageso o le fogāeleele, le maualuga o la'asaga ma le mafiafia o le ata manifinifi i luga o apa semiconductor, tioata opitika sa'o ma vaega ua ufiufi e fuafua sa'o ai le fua o le gaosiga. O le su'esu'ega masani o le probe feso'ota'i e faigofie ona valuina ni fa'ata'ita'iga manifinifi, ae o masini fua opitika masani e le mafai ona tu'uina atu le sa'o o le tulaga nano. E fa'apefea ona ausia su'ega e le fa'aleagaina, sa'o tele o le nano ma le siakiina o le gaosiga tele i le taimi e tasi?
O le interferometer malamalama paʻepaʻe fou faʻapisinisi a le Wavelength OE e faʻaalia ai auala e lua e fuaina ai le interferometry. Faatasi ai ma le iloa e le o se fesootaiga, e aofia ai le faagasologa atoa mai Suʻesuʻega ma Atinaʻe i le fale suʻesuʻe i le QC o le gaosiga i luga ole laiga.
Faiga Fa'a-interferometry o le Dual Core mo Topography o Luga Uma
E le pei o masini e fuaina ai le tasi le auala, o lenei faiga e tuʻufaʻatasia ai le VSI (Vertical Scanning Interferometry) ma le PSI (Phase-Shifting Interferometry), e faʻamalieina ai manaʻoga autu e lua o le fuaina i le masini e tasi.
| Mea Fa'atusatusa | VSI / CSI | PSI |
|---|---|---|
| O Luga Autu e Fa'aoga | O luga ma'ale'ale, la'asaga, foliga e le'o fa'aauau ma faigata | O luga e matuā lamolemole, faifai pea ma foliga fa'ata |
| Fuaina o le Maualuga Fa'atulagaina | Lautele le lautele; mafai ona fuaina alavai loloto ma la'asaga maualuluga | Vaapiapi le lautele; e le talafeagai mo ni la'asaga tetele tu'ufua |
| Fa'atulagaga Fa'atulagaina | Tulaga o le nanometer; e mafai ona ausia le sub-nanometer i ni algorithm ua fa'aleleia atili | Maualuga le iugafono; toe fai soo i lalo i le sub-nanometer e oo lava i le sub-angstrom level |
| Onosa'i i le Ma'ale'ale o le Luga | Maualuga | Maualalo |
| Le Lē Mautinoa o le Vaega | Toeitiiti lava leai; e maua le fa'ai'uga o le maualuga atoatoa | E noatia i le sese o le afifiina o le vaega 2π |
| Fuaina o le Saosaoa | Manaʻomia le suʻesuʻega faʻasolosolo, e fai si telegese | E masani ona vave |
| Tete'e i le gatete | E faigofie ona gatete i le taimi o le su'esu'ega | Suiga o le vaega e tele-fa'avaa, sili atu ona maaleale i le gatete |
| Fa'aoga Masani | Le ma'a'a, maualuga o la'asaga, fausaga laiti, luga ua uma ona fa'aaogaina masini | Su'ega o le lamolemole o le fogāeleele, foliga o le fogāeleele ma le lamolemole |
PSI (Phase-Shifting Interferometry): Fa'apitoa i foliga laiti ma le maualuga tele o ata ma'ai, e maua ai le iugafono sili ona lelei o ata fa'amikroskopi.
Fa'ata Va'alele
Fa'ata Pi'o (Fa'ata Fa'apupuna)
Fa'ata'ita'iga o le mamanu o le ata
VSI Vertical Scanning Interferometry: Fa'alelei mo vaega faigaluega e tele suiga o le maualuga ma la'asaga maualuluga; e maua le vaega atoa o le fuaina e aunoa ma le scanning vaevaeina.
Fa'asologa o pu'upu'u la'ititi lapotopoto i luga o apa fa'apipi'i fa'apitoa
Fa'asologa o le elliptical micro bump i luga o wafers ua uma ona afifiina
fa'asologa o tioata laiti
Fa'atasi ai ma se malamalama pa'epa'e pu'upu'u e 450–700 nm, e mafai ona taofia lelei le malamalama sese mai le tele o fa'aata ma maua ai le malosi e tete'e atu ai i fa'alavelave. O lenei vaega opitika e maualalo le fa'aata e mafai ona tu'uina atu ai fa'ailoilo fa'alavelave mautu ma manino, ma maua ai ni taunuuga moni ma fa'atuatuaina o le fuaina.
2. Fa'amatalaga Fa'apitoa o le Nano-Grade, Fa'amaumauga e Mafai ona Su'eina ma Mautu mo se Taimi Umi
-O le masini e fa'aaogaina se moli pa'epa'e LED ma le galu tutotonu i le 550 nm, ua fa'apipi'iina i ni fa'atulagaga fa'atino autu sili ona lelei e fetaui ma tulaga fa'atulagaina fa'avaomalo.
-Iugafono fa'atulagaina: <1 nm, sese o le fuaina toe fai: <10 nm, sa'o moni o le nanometa
-Le maualuga o le fuaina o le tulaga fa'atulagaina: 500 μm, e le mana'omia se toe suia o le tulaga mo fausaga laiti e maualuga pe maulalo.
-Saosaoa o le su'esu'eina: 100 μm/s, o le su'esu'ega atoa e tasi e mae'a i totonu ole 10 sekone, fa'apaleni le sa'o ma le saoasaoa o le su'esu'ega.
-E usita'ia tulaga fa'atonuina e le NIST, o le algorithm fa'atulagaina otometi ua fausia i totonu e fa'amautinoa ai le tutusa o fa'amaumauga o le vaega e mafai ona su'eina, ma fa'ataunu'uina tulaga fa'atonuina o le QC mo semiconductor ma alamanuia opitika.
| Mea | Fa'atulagaga |
| Fuaina o le Malosiaga | O le foliga o luga 3D, le ma'a'a o luga, maualuga o la'asaga & mafiafia o le ata tifaga o mea e atagia mai ai le ata ma vaega opitika |
| Faiga o le Mauaina o Fa'amatalaga | Fa'asalalauga Fa'asa'o Fa'atulagaina (VSI) + Fa'asalalauga Fa'asolosolo-Fa'asolosolo (PSI) |
| Faiga Fa'atulagaina | Tulaga fa'atonuina e mafai ona su'eina o le NIST + algorithm fa'atulagaina otometi |
| Fua Fa'atatau Fa'atulagaina | 500 μm |
| Va'aiga o le Malae Va'ai | 20× sini autū: 0.87 × 0.65 mm |
| Fa'atinoga o le Mea Pu'eata | Maualuga le Iugafono: 2048×2448; Fuainumera o le Fa'avaa: 74 Fps; Loloto o le Bit: 12 bit |
| Saosaoa o le Siakiina | 100 μm/s (Faiga Sa'o) |
| Filifiliga o Tioata Fa'amoemoe | Fa'amoemoega fa'ateleina e mafai ona fa'atulagaina i le 20x / 50x |
| Fuafuaga Fa'apipi'i | Fa'avae e fa'aesea ai le gatete malosi ua fausia i totonu, e maua le fa'apipi'i fa'alava ma fa'atutusa |
| Fuataga Aotelega (L×W×H) | 120 × 80 × 65 senitimita |
| Mamafa Mama | ≤58 kilokalama |
3. Fuafuaga o Kapeneta Tuufaatasia Fa'apisinisi, Fegalegaleai ma le Lab & Laina Gaosiga
Ua fa'alelei mo mafutaga faaleaoaoga tetele ma fale suesue faasaienisi faatasi ai ma le fetuutuunai o le faapipiiina.
Fa'avae e fa'avasega ai le gatete malosi ua fausia i totonu: Fua mautu le fuaina i lalo o le gatete a le fale gaosi oloa, e le mana'omia se laulau fa'aopoopo e fa'avasega ai le gatete.
Fausaga fa'apipi'i lua: Fa'atulagaga fa'alava po'o le fa'atulagaina, faigofie ona fa'apipi'i ma laina gaosiga otometi ma nofoaga faigaluega i le fale su'esu'e.
Tino la'ititi uma-i-le-tasi: La'ititi le tulagavae ma le fua 120×80×65 cm, mamafa ≤58 kg, faigofie ona fa'aoga i le nofoaga.
O le polokalama atoa e tu'ufa'atasia ai le puna o le malamalama, le iunite autu o le interferometer ma le module pulea. E mafai ona fa'apipi'i ma fa'aaoga pe a uma ona tatala, e le mana'omia se fetu'una'iga faigata o le auala va'ai.
Fa'aoga Lautele mo le Gaosiga Maualuga ma le Sa'o
Alamanuia o Semiconductor: Su'esu'ega o le fa'afanua 3D ma le maualuga o la'asaga o le silicon wafers ma micro-nano chips.
Mea Matagofie Sa'o: Su'ega o le ma'a'a ma le mafiafia o ata tifaga mo tioata opitika, mea fa'amoemoe ma elemene opitika ua ufiufiina.
Ufiufi Fou e Fa'atino Ai: Su'esu'ega o le foliga o luga ma le mafiafia o ufiufi e atagia mai ai le ata ma ata manifinifi e fa'atino ai galuega.
Fale Su'esu'e Fa'asaienisi: Fa'amatalaga o le fausaga micro-nano ma le su'ega sa'o o le foliga o vaega.
Faatasi ai ma le tele o tausaga o le poto masani fa'apolofesa i Su'esu'ega ma Atina'e Fa'apitoa o le Vavelength OE, e atia'e tuto'atasi ai auala fa'apitoa uma ma algorithms fuaina mo interferometers malamalama pa'epa'e. Pulea atoatoa fa'atekinolosi mai puna'oa malamalama, tioata fa'amoemoe i faiga fa'atulagaina. O iunite ta'itasi e faia le fa'atulagaina sa'o i le tele o ta'amilosaga a'o le'i tu'uina atu. Matou te tu'uina atu le lagolago fa'apitoa atoatoa pe a uma ona fa'atau atu ma fa'apitoa fofo fuaina fa'apitoa e fa'atatau i le tele o le workpiece a le tagata fa'atau ma mana'oga o le laina gaosiga otometi.
Taimi na lafoina ai: Iulai-15-2026