E masani ona fa'aaogaina tioata F-Theta fa'atasi ma fa'ata su'esu'ega galvanometer i le fa'ailogaina o le laser, tipiina, ma faiga fa'ailoga. E masani lava ona tausia le fa'aletonu F-Theta o le tioata e itiiti ifo i le 1% ina ia mafai ai ona maua se vaega sa'o i le fanua mafolafola i luga o le va'alele o le ata.
Fa'apalepale i le lautele: +0/-0.13mm
Fa'apalepale i le mafiafia: ±0.25mm
Fa'apalepale i le Umi o le Taula'i: ±2%
Fesuiaiga o le Mafiafia o le Pito (ETV): ≤3 arc min.
Avanoa Manino: >90%
Surface Flatness: λ/4 per 1″ Dia@632.8nm
Tulaga Lelei o le Luga: 40-20 SD
Ufiufi AR: R<0.2% i le fogāeleele i le @10.6μ